2026-07-28 0
在当今高科技制造业中，特别是在半导体行业的CVD/PVD、Etch和IMP等关键工序，对温度的精确控制是保证产品质量和工艺稳定性的关键。Chiller高精度冷热循环器是一种通过制冷剂 ······
2026-07-28 0
Chiller（冷却器/冷水机）是集成电路制造中的关键温控系统，主要用于光刻、干法刻蚀（Dry Etch）、化学气相沉积（CVD）、化学机械抛光（CMP）及快速热处理（RTP）等工艺环节 ······
2026-07-14 0
半导体专用温控单元Chiller是集成电路制造中不可或缺的关键设备，它通过对循环液的温度、流量和压力进行高精密控制，实现半导体工艺制程的控温需求。 半导体专用温控设备（Chiller）在制程中主要 ······
2026-07-06 0
随着数据中心算力需求激增，芯片功耗持续攀升，传统风冷技术已无法满足散热需求。Chiller液冷技术通过直接或间接接触方式，将冷却液引入服务器内部或散热模块，实现高效热交换。 ······
