MARU 9000是基于压力传感器的质量流量控制器（PS MFC）；通过表面电解抛光处理，具有优良的耐腐蚀性；MARU 9000通过压力传感器及数字控制回路的改善算法，速度、精度、重复性等功能提高，可适用于精密控制工艺的设备（如半导体MOCVD，ALD，平板显示CVD,PVD，光伏行业CVD等）。

优势：

三星，海力士半导体认证MFC

模拟与数字通讯都可用（Analog,RS485，DeviceNet , EtherCAT）

流量、压力、温度、Mac ID，通讯功能等通过MFC本体可显示

超快的响应时间（≤0.5sec ) 。

在MARU系列中精度高(≤0.5% of S.P.)。

表面电抛光处理,耐腐蚀性强。