ALD设备气体质量流量控制器 MARU 5000
ALD设备气体质量流量控制器 MARU 5000
价格:¥10000.00/件
品牌:chinacryo
MARU5000::量程范围5sccm~200slm
流量测定范围::2%-100%满量程
零点稳定性::<±0.5%F.S./年
供应:10000件
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MARU 5000质量流量控制器是严格按照SEMI工艺制造,适用于各类半导体或高纯气体要求的工艺,采用数字通讯回路,便于诊断和实时控制,具有良好的抗腐蚀性功能,可以使用不同的气体。

 

优势:

通过表面EP处理,产品有抗腐蚀性MARU5000:

由于User Interface底盘通讯速度及可能Mac ID设定

模拟与数字通讯都可用(Analog,RS485,DeviceNet ,EtherCAT)


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公司:成都中冷低温科技有限公司
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