型号: 标准驱动器型:5J-210(0.75 mN型)S1-210(4 mN型)
检出器退避驱动器型: SJ-210(0.75 mN型)
横向驱动器型: SJ-210(0.75 m mN型)
范围/分辨力: 360 μm/0.02 μ
测量速度: 测量时:0.25 mm's
返回时: 1mm'
s:
导头压力: 400 mN以下
适用标准: JIS'
82 /JIS':
94 / JS':
01 /IS0':
97 /ANSI/ VD:
滤波器: Gaussian,2CR75,PC75
电源: 约4小时
可测量次数: 约1000次
数量: 999