光源: 采用GCQ350Z型超高压水银直流汞灯
照明范围: ≤ф160mm
不均匀性: ф160mm内±3%
可使用的波长: g线、h线、I线的组合。根据用户要求,可增加I线滤光片
成象面照明: 光照度10~15毫瓦/厘米²,任意可调(出厂时,照明度调在10mw/
品牌: 兴林
发货地: 四川成都
硬接触曝光: 用管道真空来获得高真空接触。真空≤-0.05MPa
软接触曝光: 接触压力可将真空降到-0.02MPa ~ -0.05MPa之间
微力接触曝光: 小于软接触。真空≥-0.02MPa
尺寸: 机体720 mm(长)×720 mm(宽)×882mm(高)
重量: ≤100Kg