品牌: 兴林
照明范围: ≤ф100mm
不均匀性: ф100mm内±3%
可使用的波长: g线、h线、I线的组合。根据用户要求,可增加I线滤光片
成象面照明: 光照度10~15毫瓦/厘米²,任意可调(出厂时,照明度调在10mw/
曝光分辨率: 1μm
对准精度: 1μm
套刻精度: 1μm
发货地: 四川成都
室温: 25℃±2℃(77°F±3.6°F华氏)
洁净空气: ≥0.4MPα
真空: -0.07~-0.08MPα
尺寸: 机体720 mm(长)×720 mm(宽)×882mm(高
重量: ≤100Kg