品牌: 兴林
曝光面积: ≥φ230mm
曝光不均匀性: ≤±10%
曝光强度: ≥5mw
曝光分辨率: ≤5μm
曝光模式: 单面曝光
掩膜版尺寸: 3″、4″、5″、6″、7″、8″、9″
基片厚度: ≤5 mm
曝光灯功率: 350W
曝光定时: 0~999.9秒可调
电源: 单相AC 220V 50Hz功耗≤1kW
洁净压缩空气压力: ≥0.4Mpa
真空度: -0.07Mpa~-0.09Mpa
尺寸: 700×650×1200 (L×W×H)mm
重量: ~110kg
发货地: 四川成都