品牌: 兴林
光源: 采用GCQ350Z型超高压水银直流汞灯
照明范围: ≤ф100mm
不均匀性: ф100mm内±4%
可使用的波长: g线、h线、I线的组合。根据用户要求,可增加I线滤光片
成象面照明: 光照度0~10毫瓦/厘米²,任意可调(出厂时,照明度调在10mw/c
曝光分辨率: 1μm
硬接触曝光: 用管道真空来获得高真空接触
软接触曝光: 接触压力可将真空降到-0.02MPa ~ -0.05MPa之间
微力接触曝光: 小于软接触。真空≥-0.02MPa
主机电源: 220V±10% 50HZ
洁净空气: ≥0.4MPα
真空 : -0.07~-0.08MPα
发货地: 四川成都