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样品台尺寸：6 英寸
独立控制真空吸附，中心吸附孔，三圈吸附环
样品台电学独立悬空，可做背电极使用
样品台可 360 度旋转，可±5 度精细微调
样品台可 0~10mm 精细升降
样品台 X-Y 位移范围：25mm*25mm（精细位移）
针座平台 C 型设计，可放置 4~6 个探针座
整体：520mm 长*400mm 宽*500mm 高
重量：约 45 千克
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