超声波清洗基板/腔体

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发货地 : 四川省-成都市-郫县
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更新 : 2022-05-30
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公司基本资料信息
 
 基板的清洗,通过超声清洗进行。超声清洗是利用超声波在清洗液中的辐射,使液体震动产生数万计的微小气泡,这些气泡在超声波的纵向传播形成的负压区产生、生长,而在正压区闭合,在这种空化效应的过程中,微小气泡闭合时可以产生超过1000个大气压的瞬间高压,连续不断的瞬间高压冲击物体表面,使物体表面和微小缝隙中的污垢迅速剥落。因此,超声波清洗对物体表面具有一定损伤性,经过多次实验(此实验未记录实验数据),确定合理的超声功率、去离子水用量以及清洗液的高度和清洗时间。具体清洗流程及参数设置如下:打开超声清洗机,功率调至100瓦,加入去离子水,液面高度为60mm~80mm之间。将电路软基板或陶瓷基板放入瓷盒中,倒入HT1清洗液,液面略高基板上表面3mm~5 mm,然后将整个瓷盒放入超声清洗机的支架上(水面低于清洗液2mm~3 mm),清洗时间为Xmin~Xmin。将95%乙,醇倒入瓷盒,液面略高于基板上表面3mm~5mm,然后将整个瓷盒放入超声清洗机的支架上(水面低于清洗液2mm~3 mm),清洗时间为Xmin~Xmin。将清洗完毕的基板放入XC±3℃的烘箱中烘0.5h后,放入氮气保护柜。通过上述多次实验后确定的清洗工序,清洗完成后的基板表面无油污、杂质等残留物。
        腔体的清洗使用超声波清洗机,具体清洗流程及参数设置如下:打开超声清洗机,功率调至100瓦,倒入HT1清洗液,液面高度为60mm~80mm之间,将腔体放入超声清洗机清洗液中,液面略高腔体上表面3mm~5 mm,且液面高度不得超过80mm,清洗时间为Xmin~Xmin。将95%乙醇倒入超声波清洗机中,液面高度为60mm~80 mm之间,将腔体放入超声清洗机清洗液中,液面略高腔体上表面3mm~5mm ,且液面高度不得超过80mm,清洗时间为Xmin~Xmin。将清洗完毕的基板放入XC±3℃的烘箱中烘0.5h后,放入氮气保护柜。通过上述多次实验后确定的清洗工序,清洗完成后的腔体表面无油污、杂质等残留物。
清洗区0清洗区1清洗区2清洗区3清洗区4