腔体的清洗使用超声波清洗机,具体清洗流程及参数设置如下:打开超声清洗机,功率调至100瓦,倒入HT1清洗液,液面高度为60mm~80mm之间,将腔体放入超声清洗机清洗液中,液面略高腔体上表面3mm~5 mm,且液面高度不得超过80mm,清洗时间为Xmin~Xmin。将95%乙醇倒入超声波清洗机中,液面高度为60mm~80 mm之间,将腔体放入超声清洗机清洗液中,液面略高腔体上表面3mm~5mm ,且液面高度不得超过80mm,清洗时间为Xmin~Xmin。将清洗完毕的基板放入XC±3℃的烘箱中烘0.5h后,放入氮气保护柜。通过上述多次实验后确定的清洗工序,清洗完成后的腔体表面无油污、杂质等残留物。