ALD设备气体质量流量控制器 MARU 5000

单价: ¥10000.00    元 / 件

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品牌 : chinacryo
销量 : 累计出售 0
发货地 : 四川省-成都市-郫县
有效期至 : 长期有效
数量 : 减少 增加件 库存10000件
更新 : 2021-12-13
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公司基本资料信息
 
 

MARU 5000质量流量控制器是严格按照SEMI工艺制造,适用于各类半导体或高纯气体要求的工艺,采用数字通讯回路,便于诊断和实时控制,具有良好的抗腐蚀性功能,可以使用不同的气体。

 

优势:

通过表面EP处理,产品有抗腐蚀性MARU5000

由于User Interface底盘通讯速度及可能Mac ID设定

模拟与数字通讯都可用(Analog,RS485DeviceNet ,EtherCAT