单面曝光机精密不锈钢光刻机光刻机双面接触式光刻机单面光刻机

单价: ¥300000.00    元 / 台

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品牌 : 鸿源鼎芯
销量 : 累计出售 0
发货地 : 四川省-成都市-龙泉驿区
有效期至 : 长期有效
数量 : 减少 增加台 库存10000台
更新 : 2021-10-29
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公司基本资料信息
 
   生产集成电路的简要步骤:
利用模版去除晶圆表面的保护膜。
将晶圆浸泡在腐化剂中,失去保护膜的部分被腐蚀掉后形成电路。
用纯水洗净残留在晶圆表面的杂质。
其中曝光机就是利用紫外线通过模版去除晶圆表面的保护膜的设备。
一片晶圆可以制作数十个集成电路,根据模版曝光机分为两种:
模版和晶圆大小一样,模版不动。
模版和集成电路大小一样,模版随曝光机聚焦部分移动。
其中模版随曝光机移动的方式,模版相对曝光机中心位置不变,始终利用聚焦镜头中心部分能得到更高的精度。成为的主流。