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成都中冷低温科技有限公司

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ALD设备气体质量流量控制器 MARU 5000

参考价:   ¥1.00万/件

库存量:   10000件

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罗林波 （先生）
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产品参数

产品名称：ALD设备气体质量流量控制器 MARU 5000

MARU5000： 量程范围5sccm~200slm 流量测定范围： 2%-100%满量程
零点稳定性： <±0.5%F.S./年 材质： STS-316L电解抛光/真空退火（0.1ｕm Ra）
温度范围： 5-50℃
详细信息
 

MARU 5000质量流量控制器是严格按照SEMI工艺制造，适用于各类半导体或高纯气体要求的工艺，采用数字通讯回路，便于诊断和实时控制，具有良好的抗腐蚀性功能，可以使用不同的气体。

 

优势：

通过表面EP处理，产品有抗腐蚀性MARU5000：

由于User Interface底盘通讯速度及可能Mac ID设定

模拟与数字通讯都可用（Analog,RS485，DeviceNet ,EtherCAT）


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  • 地址：成都市郫都区成都现代工业港北片区港华路879号