金属密封质量流量控制器MARU 3000_供应产品_成都中冷低温科技有限公司

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产品参数

产品名称：金属密封质量流量控制器MARU 3000

流量测定范围：	2%-100%满量程	精度：	≤±0.25%满量程（5%-25% Flow Range）/≤±1%读数（25%
泄漏率：	5X10-12Pa.m³/sec（He）	数字接口：	RS485，DeviceNet , EtherCAT
信号类型：	模拟0-5V，数字RS485，总线Devicenet、EtherCAT

详细信息

MARU 3000质量流量控制器适用于高纯气体，脏气应用要求的工艺，采用数字通讯回路，便于诊断和实时控制，具有良好的抗腐蚀性功能，可以使用不同的气体。

优势：

通过表面BA处理，产品有抗腐蚀性

由于User Interface底盘通讯速度及可能Mac ID设定

模拟与数字通讯都可用（Analog,RS485，DeviceNet ,EtherCAT）

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