点击图片查看原图
使用、维护和保养说明
1. 定期检查：这样做，可以使曝光机永远处于良好的工作状态，并达到其好的工作性能。
（1）每日任务：
a. 测量成象表面的照度，通过光栏手轮调节照度，使之达到所希望的照度。同时进行不均匀性调节。
b.检查气压表：
△ 观察进气压是否≥0.3Mpa
△ 将气浮压力调到0.1Mpa
c.检查真空表
不“吸片”和没有进行“真空吸版”情况下，“系统真空表”上的真空度≥－0.07Mpa左右，否则应检查管路系统，查明漏气原因，并想法排除。
d. 清扫承片台上平面，无油、无尘、无硅碴等，同时清扫承片台上安装的橡皮密着环，使之无硅碴等。
e . 清扫版夹盘上下两平面，特别是上平面，不得有硅碴、灰尘等，按“吸版”按钮，吸上版，用手检查版应牢牢吸住，观察“系统真空表”，“吸版”和“解除吸版”，系统真空表指示值不应有明显变化。
2. 电器部分使用维护和保养说明
C-25XA型掩膜曝光机电气控制部分包括汞灯电路、曝光定时等几部分。主要按钮开关采用施耐德公司产品，输出电磁阀全部采用日本SMC公司生产的电磁阀，使整机的可靠性大幅提高。
（1）总功率及电源
电气控制部分总功率为＜1.5KW。
电源：真空泵电机单相220V，50HZ。
（2）汞灯电路
按下“汞灯电源”按钮, 汞灯电源接通。
搜索
复制