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安装说明：
拆箱：
拆箱取出主机和附件箱时，不需使用无尘房间，一旦拆箱后，特别是从密封的塑料袋式小木箱取出每个单元时，应立即放入无尘房间。
拆箱程序：
大箱拆开后，拆去塑料罩和干燥剂。
拆去主机周围的附件箱。
拆去主机工作台四个脚的连接件，装上四个防尘足垫。
用人工抬台面版，将主机移入净化间要安装的地方。
2. 安装和清洗：
1.认真清洗各承片台和版夹盘（包括“备件” ），不用备件仍需涂上防锈油，放到备件箱内。
2.调节工作台下面四个螺杆足的高度，使工作台四角高度一致。
3.安装曝光头（由我方派人安装）
用户拆换汞灯时注意：①用脱脂棉擦干净汞灯球面，清洗和安装汞灯时，手指不要接触汞灯球面；②装汞灯时，既要将上下接线片压紧，又要注意不把汞灯扭断！接线片如果没有压紧，造成汞灯“启辉”困难，每次换汞灯后，都要进行出射光束均匀性调节。
4.安装显微镜（由我方派人安装），注意两个单筒显微镜垂直于版。
5.电源和气源的连接
按说明书接上电源、气源和真空源。
如果用户光刻间内没有真空源，还应配置TW-2A型真空泵，真空泵不能安装在净化间内，而应安装在净化间外，通过长真空管引入本机。
