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成都兴林真空设备有限公司

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C-25型单面光刻机 成都精密光刻机厂家
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产品: 浏览次数:20C-25型单面光刻机 成都精密光刻机厂家 
品牌: 成都兴林
尺寸: 4寸
重量: 170kg
单价: 19.50万元/台
最小起订量: 1 台
供货总量: 9999 台
发货期限: 自买家付款之日起 天内发货
有效期至: 长期有效
最后更新: 2022-07-12 14:54
  询价
详细信息
主要用途
 
⒈  主要用于中小规模集成电路、半导体元器件、声表面波器件的研制和生产。
 
⒉ 由于本机找平机构先进,找平力小、使本机不仅适合硅片、玻璃片、陶瓷片、
 
铜片、不锈钢片、宝石片的曝光,而且也适合易碎片如砷化钾、磷化铟等基片
 
的曝光以及非圆形基片和小型基片的曝光。
 
工作方式                                   
 
本机为单面对准、单面曝光。
 
主要构成
 
主要由高精度对准工作台、双目分离视场CCD显微镜显示系统、采用高均匀
 
性的多点光源、 蝇眼、LED、曝光头,PLC电控系统、气动系统、真空管路系统、直联式无油真空泵、二级防震工作台和附件等组成。
 
主要功能特点
 
⒈适用范围广
 
适用于Φ100以下(***小尺寸为Φ5mm),厚度5mm以下的各种基片 (包括非圆形基片)的对准曝光。
 
⒉分辨率高
 
采用高均匀性的蝇眼曝光头,非常理想的三点式自动找平机构和稳定可靠的真空密着装置,使本机的曝光分辨率大为提高。
 
3. 套刻精度高、速度快
 
采用版不动片动的下置式三层导轨对准方式,使导轨自重和受力方向保持一致,自动消除间隙;承片台升降采用无间隙滚珠直进导轨、气动式Z轴升降机构和双簧片微分离机构,使本机片对版在分离接触时漂移特小,对准精度高,对准速度快,从而提高了版的复用率和产品的成品率。    
 
⒋ 可靠性高
 
采用PLC控制器、进口电磁阀和按钮、独特的气动系统、真空管路系统和经过精密机械制造工艺加工的零件,使本机具有非常高的可靠性且操作、维护、检修简便。
 
⒌ 特设“碎片”处理功能
 
解决非圆形基片、碎片和底面不平的基片造成的版片分离不开所引起的版片
 







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