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去离子水是指除去了呈离子形式杂质后的纯水。国际标准化组织ISO/TC 147规定的“去离子”定义为：“去离子水完全或不完全地去除离子物质。”
如今的工艺主要采用RO反渗透的方法制取。应用离子交换树脂去除水中的阴离子和阳离子，
但水中仍然存在可溶性的有机物，可以污染离子交换柱从而降低其净化性能，去离子水存放后也容易引起细菌的繁殖。
反渗透设备与电去离子（EDI）设备进行搭配制取去离子水的的方式，这是一种制取超纯水的常用工艺，也是一种环保，经济，发展潜力巨大的超纯水制备工艺，其基本工艺流程为：
原水→多介质过滤器→活性炭过滤器→精密过滤器→反渗透设备→电去离子（EDI）→超纯水箱→超纯水泵→后置保安过滤器→用水点。