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四川鸿源鼎芯科技有限公司

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四川鸿源鼎芯科技有限公司

VIP会员 5
信用指数
1
企业类型
企业
经营模式
主营产品
计算机软硬件开发;工业自动化控制设备销售及技术开发、咨询、转让服务;电子产品技术开发、技术咨询;销售:工业自动化控制设备、仪器仪表、机械设备、电子产品、计算机软硬件、五金交电、电力设备、安防设备、光学仪器;设计、制造、加工、销售:自动化专用设备、电子专用设备、光学仪器及技术服务;货物及技术进出口(依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可展开经营活动)。
联系方式
联系人
张其文
电话
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地址
四川省成都市龙泉驿区龙泉车城东七路360号行政中心一楼3号
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光纤激光打标机 激光刻字机 光刻机 设备齐全 价格合理
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产品: 浏览次数:27光纤激光打标机 激光刻字机 光刻机 设备齐全 价格合理 
品牌: 鸿源鼎芯
品牌: 鸿源鼎芯
加工定制:
别名:: 曝光机
单价: 68.00万元/台
最小起订量:
供货总量: 10000 台
发货期限: 自买家付款之日起 天内发货
有效期至: 长期有效
最后更新: 2021-07-09 16:30
  询价
详细信息
   一、主要用途
主要用于中小规模集成电路、半导体元器件、光电子器件、声表面波器件、薄膜电路、电力电子器件的研制和生产。
 
二、工作方式
本机采用版—版对准双面同时曝光
 
三、主要构成
主要由高精度特制的翻版机构、双视场CCD显微显示系统、二台多点光源式曝光头、真空管路系统、气路系统、直联式真空泵、防震工作台等组成。
 
四、主要功能特点
1.适用范围广
适用于φ100mm以下,厚度5mm以下的各种基片的对准曝光。
2.结构先进
该机为双面接触式光刻机,特制的翻版机构,能消除基片楔形误差,保障上、下二块掩膜版对基片上、下两面良好的接触,从而保障基片上、下两面的曝光质量。
3.操作简便
采用手动方式;特制的翻版机构
4.可靠性高
采用进口电磁阀、按钮、定时器;真空管路系统和精密的零件加工,使本机具有非常高的可靠性。
 
五、主要技术指标
1、曝光类型:单面对准双面曝光
2、曝光面积:≥φ100mm
3、曝光不均匀性:≤±4%
4、曝光强度:≥5mw/cm2
5、曝光分辨率:≤2μm
6、曝光模式:双面同时曝光
7、对准精度:上版与下版的对准精度≤5μm
8、对准范围:X:±5mm Y:±5mm
9、旋转范围:Q向旋转调节≥±5°
10、显微系统:双视场CCD系统,物镜0.7X~4.5X,计算机图像处理系统,19″液晶监视器;
11、掩模版尺寸:3″×3″、4″×4″、5″×5″
12、基片尺寸:φ2″、φ3″、φ4″
13、基片厚度:≤5 mm
14、曝光灯功率:直流2×350W
15、曝光定时:0~999.9秒可调
16、电源:单相AC 220V 50Hz功耗≤1kW
17、洁净压缩空气压力:≥0.4Mpa
18、真空度:-0.07Mpa~-0.09Mpa
19、尺寸:900×700×1500 (L×W×H)mm;
20、重量:~150kg
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