电子束法是利用电子加速器产生的高能粒子照射烟气，使其SO2和NOx氧化生成硫酸和硝酸，再与添加的氨反应生成硫酸氨和硝酸氨。我国2000年由中国工程物理研究院在四川绵羊投资2000万元建造一套电子束辐射烟气脱硫脱硝工业试验装置，烟气处理量3000～12000//Nm3h-1，脱硫率90%，脱硝率70%。
电子束法处理烟气的优点：
①用一个过程能脱硫脱硝一体化，且去除效率高。
②能够生成硫酸氨和硝酸氨副产品作化肥用，没有废弃物。
③是干法过程，没有废水及其处理设施。
④因为不用催化剂，所以不存在催化剂中毒，影响使用寿命的问题。
⑤设备结构简单，对烟气条件变化适应性强，容易控制。
电子束处理法存在问题：
①该法耗电量大，由此占的运行费用很高。
②烟气辐射装置还不适合用于大规模应用系统。
③处理后的烟气仍然存在排放硝、硫酸和一氧化二氮的可能性。