半导体CVD气体质量流量控制器 MARU 7000 PI是高性能的数字结构控制回路可以实时控制和诊断，通过表面电解抛光处理，具有优良的耐腐蚀性；MARU 7000 PI是压力控制器和数字控制回路的改善算法，速度、精度、重复性等功能提高，可适用于精密控制工艺的设备（如半导体MOCVD，ALD等）。
优势：
三星半导体认证MFC
供给压力波动时也可以稳定的控制流量
模拟与数字通讯都可用（Analog,RS485，DeviceNet , EtherCAT）
流量、压力、温度、Mac ID，通讯功能等通过MFC本体可显示
EP抛光，剧透的耐腐蚀性
