MARU 3000质量流量控制器适用于高纯气体,脏气应用要求的工艺,采用数字通讯回路,便于诊断和实时控制,具有良好的抗腐蚀性功能,可以使用不同的气体。
优势:
通过表面BA处理,产品有抗腐蚀性
由于User Interface底盘通讯速度及可能Mac ID设定
模拟与数字通讯都可用(Analog,RS485,DeviceNet ,EtherCAT)
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产品参数 产品名称:金属密封质量流量控制器MARU 3000
详细信息 MARU 3000质量流量控制器适用于高纯气体,脏气应用要求的工艺,采用数字通讯回路,便于诊断和实时控制,具有良好的抗腐蚀性功能,可以使用不同的气体。 优势: 通过表面BA处理,产品有抗腐蚀性 由于User Interface底盘通讯速度及可能Mac ID设定 模拟与数字通讯都可用(Analog,RS485,DeviceNet ,EtherCAT) 联系方式
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