MARU 5000质量流量控制器是严格按照SEMI工艺制造，适用于各类半导体或高纯气体要求的工艺，采用数字通讯回路，便于诊断和实时控制，具有良好的抗腐蚀性功能，可以使用不同的气体。
优势：
通过表面EP处理，产品有抗腐蚀性
由于User Interface底盘通讯速度及可能Mac ID设定
模拟与数字通讯都可用（Analog,RS485，DeviceNet ,EtherCAT）
产品参数
罗林波 （先生）
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产品名称：ALD设备气体质量流量控制器 MARU 5000
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