平行平晶是以光波干涉原理为基础,利用平晶的测量面与试件的被测量面之间所出现的干涉条纹来测量被测量面的误差程度。
*平行平晶具有高精度的平面性和平行性。
*平行平晶用于检定千分尺、杠杆千分尺、杠杆卡规和千分尺卡规等量具测量面的平面度和两相对测量的平行度。平行平晶共分四个系列,每个系列各分六组,每组四块。
产品规格:
每组平行平晶共四块,分四个尺寸系列组
测量范围:组I系列:0~25mm 组II系列:25~50mm
组III系列:50~75mm 组IV系列:75~100mm
测量面上平面度偏差<0.1μm
平面度局部偏差>0.03μm
测量面平行度误差:组I系列允差值:0.06μm
组II,III系列允差值:0.08μm
组IV系列允差值:0.1μm
组号 |
0-25 |
25-50 |
50-75 |
75-100 |
1 |
15.00,15.12 |
40.00,40.12 |
65.00,65.12 |
90.00,90.12 |
2 |
15.12,15.25 |
40.12,40.25 |
65.12,65.25 |
90.12,90.25 |
3 |
15.25,15.37 |
40.25,40.37 |
65.25,65.37 |
90.25,90.37 |
4 |
15.37,15.50 |
40.37,40.50 |
65.37,65.50 |
90.37,90.50 |
5 |
15.50,15.62 |
40.50,40.62 |
65.50,65.62 |
90.50,90.62 |
6 |
15.62,15.75 |
40.62,40.75 |
65.62,65.75 |
90.62,90.75 |