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四川南光真空科技有限公司

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H94-30型(LED)4″双面光刻机 光刻机厂家 供应光刻机 光刻机批发
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单价:¥34.00万 / 台
品牌:南光真空
地区:四川省成都市成华区
销量:累计出售 0 件,0 个订单
评价:已有 0 条评价
库存:还剩 100 件
人气:已有 9 人关注
更新:2022-03-11
详细信息
  
主要功能特点:
1.适用范围广
适用于φ100mm以下厚度5mm以下的各种基片(包括非圆形基片)的对准曝光。
2.分辨率高
采用高均匀性的多点光源(蝇眼)曝光头,非常理想的三点式自动找平机构和稳定可靠的真空密着装置,使本机的曝光分辨率大为提高。
3.套刻精度高、速度快
采用版不动片动的下置式三层导轨对准方式,使导轨自重和受力方向保持一致,自动消除间隙;承片台升降采用无间隙滚珠直进导轨、气动式Z轴升降机构和双簧片微分离机构,使本机片对版在分离接触时漂移特小,对准精度高,对准速度快,从而提高了版的复用率和产品的成品率。
4.可靠性高
采用PLC控制、进口电磁阀和按钮、独特的气动系统、真空管路系统和经过精密机械制造工艺加工的零件,使本机具有非常高的可靠性且操作、维护、维修简便。